标准摘要
国家标准《表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析》 由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。
英文名称Surface chemical analysis—Depth profiling—Non-destructive depth profiling of nanoscale heavy metal oxide thin films on Si substrates with medium energy ion scattering