标准摘要 国家标准《微机电系统(MEMS)技术 MEMS磁场传感器技术规范》 由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)、全国集成电路标准化技术委员会联合归口 ,主管部门为国家标准委。 展开完整摘要 英文名称Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Technical specification of MEMS magnetic field sensor