标准摘要 国家标准《精细陶瓷 平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜(晶圆)结晶质量》 由TC194(全国工业陶瓷标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国建筑材料联合会。 展开完整摘要 英文名称Fine ceramics—Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam