GB/T 47625-2026 即将实施

精细陶瓷 平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜(晶圆)结晶质量

标准摘要

国家标准《精细陶瓷 平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜(晶圆)结晶质量》 由TC194(全国工业陶瓷标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国建筑材料联合会。
英文名称Fine ceramics—Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam

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