300mm硅片表面纳米形貌的评价方法

国家标准《300mm硅片表面纳米形貌的评价方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。