标准摘要 国家标准《机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件》 由TC231(全国工业机械电气系统标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国机械工业联合会。 展开完整摘要 英文名称Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment