半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定 非接触涡流法

国家标准《半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定 非接触涡流法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。