图集目录
【目录】 GB50646-2020 [第 1 页] 1 总则 [第 11 页] 2 术语 [第 12 页] 3 特种气体站房 [第 17 页] 3.1 一般规定 [第 17 页] 3.2 特种气体站房布置 [第 18 页] 3.3 特种气体设备布置 [第 19 页] 4 特种气体工艺系统 [第 21 页] 4.1 一般规定 [第 21 页] 4.2 特种气体输送系统 [第 21 页] 4.3 吹扫和排气系统 [第 24 页] 4.4 硅烷工艺系统 [第 24 页] 5 生命安全系统 [第 26 页] 5.1 特种气体管理系统 [第 26 页] 5.2 特种气体探测系统 [第 26 页] 5.3 其他安全设施 [第 28 页] 5.4 特种气体报警的联动控制 [第 29 页] 6 特种气体管道输送系统 [第 30 页] 6.1 一般规定 [第 30 页] 6.2 材料选型 [第 30 页] 6.3 管道设计 [第 31 页] 6.4 管道标识 [第 32 页] 7 建筑结构 [第 34 页] 7.1 一般规定 [第 34 页] 7.2 建筑防火 [第 34 页] 7.3 建筑构造措施 [第 37 页] 8 电气与防雷 [第 38 页] 8.1 配电与照明 [第 38 页] 8.2 防雷与接地 [第 38 页] 9 公用工程 [第 40 页] 9.1 给水排水 [第 40 页] 9.2 消防 [第 40 页] 9.3 采暖通风与空气调节 [第 41 页] 10 特种气体系统工程施工 [第 44 页] 10.1 一般规定 [第 44 页] 10.2 主要设备、材料进场验收 [第 44 页] 10.3 气瓶柜与气瓶架的安装 [第 46 页] 10.4 阀门箱与阀门盘的安装 [第 46 页] 10.5 尾气处理装置及纯化器的安装 [第 47 页] 10.6 特种气体管道安装 [第 47 页] 10.7 特种气体管道改扩建工程施工 [第 51 页] 11 特种气体系统工程验收 [第 52 页] 11.1 一般规定 [第 52 页] 11.2 设备验收 [第 52 页] 11.3 管路与系统验收 [第 52 页] 11.4 气体探测（监控）系统验收 [第 53 页] 附录A 特种气体管道氦检漏方法 [第 54 页] 附录B 电子工业用特种气体的主要物化性质（单一气体） [第 55 页] 本标准用词说明 [第 60 页] 引用标准名录 [第 61 页] 附：条文说明 [第 62 页] 1 总则 [第 66 页] 2 术语 [第 67 页] 3 特种气体站房 [第 68 页] 3.1 一般规定 [第 68 页] 3.2 特种气体站房布置 [第 74 页] 3.3 特种气体设备布置 [第 78 页] 4 特种气体工艺系统 [第 83 页] 4.1 一般规定 [第 83 页] 4.2 特种气体输送系统 [第 84 页] 4.3 吹扫和排气系统 [第 89 页] 4.4 硅烷工艺系统 [第 91 页] 5 生命安全系统 [第 96 页] 5.1 特种气体管理系统 [第 96 页] 5.2 特种气体探测系统 [第 96 页] 5.3 其他安全设施 [第 99 页] 5.4 特种气体报警的联动控制 [第 101 页] 6 特种气体管道输送系统 [第 103 页] 6.1 一般规定 [第 103 页] 6.2 材料选型 [第 104 页] 6.3 管道设计 [第 105 页] 6.4 管道标识 [第 107 页] 7 建筑结构 [第 109 页] 7.1 一般规定 [第 109 页] 7.2 建筑防火 [第 110 页] 7.3 建筑构造措施 [第 111 页] 8 电气与防雷 [第 113 页] 8.1 配电与照明 [第 113 页] 8.2 防雷与接地 [第 113 页] 9 公用工程 [第 114 页] 9.1 给水排水 [第 114 页] 9.2 消防 [第 114 页] 9.3 采暖通风与空气调节 [第 117 页] 10 特种气体系统工程施工 [第 122 页] 10.1 一般规定 [第 122 页] 10.2 主要设备、材料进场验收 [第 123 页] 10.3 气瓶柜与气瓶架的安装 [第 124 页] 10.4 阀门箱与阀门盘的安装 [第 124 页] 10.5 尾气处理装置及纯化器的安装 [第 125 页] 10.6 特种气体管道安装 [第 125 页] 10.7 特种气体管道改扩建工程施工 [第 129 页] 11 特种气体系统工程验收 [第 131 页] 11.1 一般规定 [第 131 页] 11.2 设备验收 [第 131 页] 11.3 管路与系统验收 [第 137 页] 11.4 气体探测（监控）系统验收 [第 145 页] 附录A 特种气体管道氦检漏方法 [第 148 页] 附录B 电子工业用特种气体的主要物化性质（单一气体） [第 149 页]