标准摘要
【简介】 本规范共分12章和3个附录,主要内容包括:总则,术语,基本规定,厂址选择及厂区规划,工艺设计,电气及自动化,辅助设施,建筑结构,给水、排水和消防,采暖、通风与空气调节,环境保护、安全和卫生,节能、余热回收等。 【目录】 GB51034-2014 [第 1 页] 1 总 则 [第 13 页] 2 术 语 [第 15 页] 3 基本规定 [第 16 页] 4 厂址选择及厂区规划 [第 17 页] 4.1 厂址选择 [第 17 页] 4.2 厂区规划 [第 18 页] 5 工艺设计 [第 21 页] 5.1 一般规定 [第 21 页] 5.2 三氯氢硅合成和四氯化硅氢化 [第 22 页] 5.3 氯硅烷提纯 [第 23 页] 5.4 三氯氢硅氢还原 [第 24 页] 5.5 还原尾气干法回收 [第 24 页] 5.6 硅芯制备及多晶硅产品后处理 [第 25 页] 5.7 分析检测 [第 26 页] 6 电气及自动化 [第 27 页] 6.1 电气 [第 27 页] 6.2 自动化 [第 29 页] 7 辅助设施 [第 36 页] 7.1 压缩空气站 [第 36 页] 7.2 制氮站 [第 36 页] 7.3 制氢站 [第 37 页] 7.4 导热油 [第 37 页] 7.5 纯水制备 [第 37 页] 7.6 制冷 [第 40 页] 7.7 蒸汽 [第 40 页] 8 建筑结构 [第 42 页] 8.1 一般规定 [第 42 页] 8.2 主要生产厂房和辅助用房 [第 44 页] 8.3 防火、防爆 [第 46 页] 8.4 洁净设计及装修 [第 48 页] 8.5 防腐蚀 [第 49 页] 8.6 结构设计 [第 50 页] 9 给水、排水和消防 [第 55 页] 9.1 给水 [第 55 页] 9.2 排水 [第 55 页] 9.3 废水处理 [第 56 页] 9.4 循环冷却水系统 [第 56 页] 9.5 消防 [第 57 页] 10 采暖、通风与空气调节 [第 58 页] 10.1 一般规定 [第 58 页] 10.2 通风 [第 58 页] 10.3 空气调节与净化 [第 60 页] 10.4 防排烟 [第 61 页] 10.5 空调冷热源 [第 62 页] 11 环境保护、安全和卫生 [第 64 页] 11.1 环境保护 [第 64 页] 11.2 安全 [第 64 页] 11.3 卫生 [第 65 页] 12 节能、余热回收 [第 66 页] 12.1 一般规定 [第 66 页] 12.2 生产工艺 [第 66 页] 附录A 地下管线与建(构)筑物之间的最小水平净距 [第 68 页] 附录B 地下管线之间的最小水平净距 [第 69 页] 附录C 主要房间空气洁净度、温度、湿度 [第 70 页] 本规范用词说明 [第 72 页] 引用标准名录 [第 73 页] 附：条文说明 [第 77 页] 1 总 则 [第 80 页] 2 术 语 [第 81 页] 3 基本规定 [第 82 页] 4 厂址选择及厂区规划 [第 83 页] 4.1 厂址选择 [第 83 页] 4.2 厂区规划 [第 84 页] 5 工艺设计 [第 86 页] 5.1 一般规定 [第 86 页] 5.2 三氯氢硅合成和四氯化硅氢化 [第 87 页] 5.3 氯硅烷提纯 [第 88 页] 5.4 三氯氢硅氢还原 [第 88 页] 5.5 还原尾气干法回收 [第 89 页] 5.6 硅芯制备及多晶硅产品后处理 [第 89 页] 5.7 分析检测 [第 89 页] 6 电气及自动化 [第 90 页] 6.1 电气 [第 90 页] 6.2 自动化 [第 91 页] 7 辅助设施 [第 93 页] 7.1 压缩空气站 [第 93 页] 7.2 制氮站 [第 93 页] 7.3 制氢站 [第 93 页] 7.4 导热油 [第 94 页] 7.5 纯水制备 [第 94 页] 7.6 制冷 [第 94 页] 7.7 蒸汽 [第 94 页] 8 建筑结构 [第 96 页] 8.1 一般规定 [第 96 页] 8.2 主要生产厂房和辅助用房 [第 98 页] 8.3 防火、防爆 [第 100 页] 8.4 洁净设计及装修 [第 102 页] 8.5 防腐蚀 [第 103 页] 8.6 结构设计 [第 104 页] 9 给水、排水和消防 [第 106 页] 9.1 给水 [第 106 页] 9.2 排水 [第 106 页] 9.3 废水处理 [第 107 页] 9.4 循环冷却水系统 [第 107 页] 9.5 消防 [第 108 页] 10 采暖、通风与空气调节 [第 109 页] 10.1 一般规定 [第 109 页] 10.2 通风 [第 109 页] 10.3 空气调节与净化 [第 112 页] 10.4 防排烟 [第 114 页] 10.5 空调冷热源 [第 115 页] 11 环境保护、安全和卫生 [第 117 页] 11.1 环境保护 [第 117 页] 11.2 安全 [第 117 页] 11.3 卫生 [第 117 页] 12 节能、余热回收 [第 119 页] 12.1 一般规定 [第 119 页] 12.2 生产工艺 [第 119 页]