标准摘要
【简介】 本规范共分14章和2个附录,主要内容包括总则,术语,基本规定,工艺,厂址选择及总体规划,建筑,结构,气体动力,供暖、通风、空气调节与净化,给水排水,电气,防静电,化学品,空间管理等。 【目录】 GB51136-2015 [第 1 页] 1 总则 [第 13 页] 2 术语 [第 14 页] 3 基本规定 [第 16 页] 4 工艺 [第 17 页] 4.1 一般规定 [第 17 页] 4.2 基本工序 [第 17 页] 4.3 工艺区划 [第 17 页] 4.4 设备配置 [第 18 页] 5 厂址选择及总体规划 [第 20 页] 5.1 厂址选择 [第 20 页] 5.2 总体规划 [第 20 页] 6 建筑 [第 22 页] 6.1 一般规定 [第 22 页] 6.2 防火及安全疏散 [第 22 页] 7 结构 [第 25 页] 7.1 一般规定 [第 25 页] 7.2 厂房结构设计 [第 25 页] 7.3 微振动控制标准 [第 26 页] 7.4 微振动控制设计及测试 [第 27 页] 7.5 基座平台设计 [第 27 页] 8 气体动力 [第 29 页] 8.1 冷、热源 [第 29 页] 8.2 大宗气体供应 [第 30 页] 8.3 特种气体供应 [第 31 页] 8.4 压缩空气供应 [第 33 页] 8.5 工艺真空和清扫真空 [第 34 页] 9 供暖、通风、空气调节与净化 [第 35 页] 9.1 一般规定 [第 35 页] 9.2 采暖、通风与废气处理 [第 35 页] 9.3 空气调节与净化 [第 38 页] 9.4 防排烟 [第 40 页] 10 给水排水 [第 41 页] 10.1 一般规定 [第 41 页] 10.2 一般给水排水 [第 41 页] 10.3 纯水 [第 42 页] 10.4 工艺冷却循环水 [第 42 页] 10.5 废水 [第 43 页] 10.6 消防给水及灭火设施 [第 43 页] 11 电气 [第 45 页] 11.1 供配电与照明 [第 45 页] 11.2 防雷与接地 [第 46 页] 11.3 火灾报警及消防联动 [第 46 页] 11.4 通信及自控 [第 48 页] 12 防静电 [第 49 页] 12.1 一般规定 [第 49 页] 12.2 防静电措施 [第 50 页] 12.3 防静电接地 [第 51 页] 13 化学品 [第 53 页] 13.1 一般规定 [第 53 页] 13.2 化学品储存和配送 [第 53 页] 13.3 管材、阀门 [第 56 页] 13.4 化学品废液收集团收 [第 56 页] 14 空间管理 [第 58 页] 14.1 一般规定 [第 58 页] 14.2 管线布置 [第 59 页] 14.3 共用管道支、吊架 [第 60 页] 附录A 薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程 [第 61 页] 附录B 微振动标准VC曲线 [第 63 页] 本规范用词说明 [第 65 页] 引用标准名录 [第 66 页] 附: 条文说明 [第 68 页]