图集目录
【目录】 GB51333-2018 [第 1 页] 1 总则 [第 12 页] 2 术语 [第 13 页] 3 总体设计 [第 14 页] 3.1 一般规定 [第 14 页] 3.2 厂房区划 [第 14 页] 3.3 设备布置 [第 15 页] 4 基本工艺 [第 16 页] 4.1 一般规定 [第 16 页] 4.2 陶瓷基板预处理 [第 16 页] 4.3 厚膜浆料贮存 [第 16 页] 4.4 印刷网版制作 [第 17 页] 4.5 丝网印刷 [第 18 页] 4.6 通孔金属化 [第 18 页] 4.7 烧结 [第 19 页] 4.8 激光调阻 [第 20 页] 4.9 镀涂 [第 21 页] 4.10 裂片 [第 22 页] 4.11 熟切 [第 22 页] 4.12 测试 [第 23 页] 5 工艺设备配置 [第 25 页] 5.1 一般规定 [第 25 页] 5.2 陶瓷基板预处理工艺设备 [第 25 页] 5.3 厚膜浆料贮存工艺设备 [第 25 页] 5.4 印刷网版制作工艺设备 [第 26 页] 5.5 丝网印刷工艺设备 [第 26 页] 5.6 通孔金属化工艺设备 [第 26 页] 5.7 烧结工艺设备 [第 27 页] 5.8 激光阴阻工艺设备 [第 27 页] 5.9 镀涂工艺设备 [第 28 页] 5.10 裂片工艺设备 [第 28 页] 5.11 熟切工艺设备 [第 28 页] 5.12 测试设备 [第 29 页] 6 建筑与结构 [第 31 页] 6.1 建筑 [第 31 页] 6.2 结构 [第 32 页] 7 公用设施及动力 [第 33 页] 7.1 空气净化系统 [第 33 页] 7.2 给水排水 [第 34 页] 7.3 冷热源 [第 36 页] 7.4 气体动力 [第 36 页] 7.5 通风及防排烟系统 [第 38 页] 8 电气设计 [第 40 页] 8.1 供电 [第 40 页] 8.2 照明、配电和自动控制 [第 41 页] 8.3 通信、信息 [第 42 页] 8.4 接地 [第 42 页] 9 环境保护、节能与消防 [第 43 页] 9.1 环境保护 [第 43 页] 9.2 节能 [第 43 页] 9.3 消防 [第 44 页] 附录A 厚膜陶瓷基板生产基本工艺流程 [第 45 页] 本标准用词说明 [第 46 页] 引用标准名录 [第 47 页] 附:条文说明 [第 48 页] 1 总则 [第 52 页] 3 总体设计 [第 54 页] 3.1 一般规定 [第 54 页] 4 基本工艺 [第 55 页] 4.1 一般规定 [第 55 页] 4.2 陶瓷基板预处理 [第 55 页] 4.3 厚膜浆料贮存 [第 55 页] 4.4 印刷网版制作 [第 55 页] 4.5 丝网印刷 [第 56 页] 4.6 通孔金属化 [第 56 页] 4.7 烧结 [第 57 页] 4.8 激光调阻 [第 58 页] 4.9 镀涂 [第 58 页] 4.10 裂片 [第 58 页] 4.11 熟切 [第 59 页] 4.12 测试 [第 59 页] 5 工艺设备配置 [第 60 页] 5.1 一般规定 [第 60 页] 5.5 丝网印刷工艺设备 [第 60 页] 5.8 激光调阻工艺设备 [第 60 页] 5.11 熟切工艺设备 [第 60 页] 5.12 测试设备 [第 60 页] 6 建筑与结构 [第 61 页] 6.1 建筑 [第 61 页] 6.2 结构 [第 62 页] 7 公用设施及动力 [第 63 页] 7.1 空气净化系统 [第 63 页] 7.2 给水排水 [第 63 页] 7.3 冷热源 [第 65 页] 7.4 气体动力 [第 66 页] 7.5 通风及防排烟系统 [第 67 页] 8 电气设计 [第 68 页] 8.1 供电 [第 68 页] 8.2 照明、配电和自动控制 [第 68 页] 8.3 通信、信息 [第 69 页] 9 环境保护、节能与消防 [第 71 页] 9.1 环境保护 [第 71 页] 9.2 节能 [第 71 页]