图集目录
【目录】 GB51343-2018 [第 1 页] 1 总则 [第 11 页] 2 术语 [第 12 页] 3 基本规定 [第 13 页] 4 生产线工艺设计 [第 15 页] 4.1 工艺流程 [第 15 页] 4.2 设备配置 [第 16 页] 4.3 工艺布局 [第 18 页] 5 配套设施要求 [第 20 页] 5.1 表面处理工艺 [第 20 页] 5.2 装配、焊接工艺 [第 21 页] 5.3 排气工艺 [第 22 页] 5.4 老炼及测试工艺 [第 22 页] 6 设备安装 [第 24 页] 6.1 安装条件 [第 24 页] 6.2 设备开箱 [第 24 页] 6.3 设备搬运 [第 25 页] 6.4 设备安装 [第 25 页] 6.5 二次配管配线 [第 30 页] 7 设备调试与试运行 [第 32 页] 7.1 一般规定 [第 32 页] 7.2 清洗、镀覆设备调试与试运行 [第 32 页] 7.3 装配、焊接和排气设备调试与试运行 [第 34 页] 7.4 老炼设备调试与试运行 [第 37 页] 7.5 测试设备调试与试运行 [第 38 页] 7.6 自动化生产线联线调试与试运行 [第 40 页] 8 工程验收 [第 42 页] 8.1 一般规定 [第 42 页] 8.2 交接验收 [第 42 页] 8.3 竣工验收 [第 43 页] 8.4 验收不合格的处置 [第 43 页] 附录A 真空电子器件生产线设备安装工程施工工艺条件 [第 44 页] 附录B 真空电子器件生产线设备安装工程质量验收记录用表 [第 47 页] 本标准用词说明 [第 55 页] 引用标准名录 [第 56 页] 附: 条文说明 [第 57 页] 1 总则 [第 60 页] 3 基本规定 [第 61 页] 4 生产线工艺设计 [第 63 页] 4.1 工艺流程 [第 63 页] 5 配套设施要求 [第 65 页] 5.1 表面处理工艺 [第 65 页] 5.2 装配、焊接工艺 [第 65 页] 5.3 排气工艺 [第 65 页] 5.4 老炼及测试工艺 [第 66 页] 6 设备安装 [第 67 页] 6.4 设备安装 [第 67 页] 6.5 二次配管配线 [第 67 页]