图集目录
【目录】 GB51370-2019 [第 1 页] 1 总则 [第 11 页] 2 术语 [第 12 页] 3 基本规定 [第 13 页] 4 工艺 [第 14 页] 4.1 一般规定 [第 14 页] 4.2 基本工序 [第 14 页] 4.3 工艺区划 [第 15 页] 4.4 设备配置 [第 15 页] 5 总图 [第 16 页] 5.1 厂址选择 [第 16 页] 5.2 总平面布置 [第 16 页] 5.3 竖向设计 [第 17 页] 5.4 交通组织 [第 17 页] 6 建筑 [第 18 页] 6.1 一般规定 [第 18 页] 6.2 建筑防火 [第 18 页] 6.3 室内装修 [第 19 页] 7 结构 [第 20 页] 7.1 一般规定 [第 20 页] 7.2 结构方案 [第 20 页] 7.3 防微振 [第 20 页] 8 气体动力 [第 22 页] 8.1 冷热源 [第 22 页] 8.2 大宗气体 [第 22 页] 8.3 特种气体供应 [第 23 页] 8.4 压缩空气 [第 24 页] 8.5 工艺真空和清扫真空 [第 25 页] 9 供暖、通风、空气调节与净化 [第 27 页] 9.1 一般规定 [第 27 页] 9.2 供暖、通风与废气处理 [第 27 页] 9.3 空气调节与净化 [第 29 页] 9.4 防烟排烟 [第 30 页] 10 给水排水 [第 31 页] 10.1 一般规定 [第 31 页] 10.2 给水排水 [第 31 页] 10.3 纯水 [第 32 页] 10.4 工艺冷却循环水 [第 32 页] 10.5 废水 [第 33 页] 10.6 消防 [第 34 页] 11 电气 [第 35 页] 11.1 供电系统 [第 35 页] 11.2 低压配电及电气照明 [第 35 页] 11.3 信息与自控 [第 36 页] 11.4 防雷接地 [第 38 页] 12 节能 [第 39 页] 附录A 薄膜太阳能电池典型生产工艺流程 [第 42 页] 本标准用同说明 [第 44 页] 引用标准名录 [第 45 页] 附: 条文说明 [第 47 页] 1 总则 [第 51 页] 4 工艺 [第 52 页] 4.1 一般规定 [第 52 页] 4.2 基本工序 [第 52 页] 4.3 工艺区划 [第 53 页] 4.4 设备配置 [第 54 页] 5 总图 [第 56 页] 5.1 厂址选择 [第 56 页] 5.2 总平面布置 [第 56 页] 5.4 交通组织 [第 56 页] 6 建筑 [第 58 页] 6.2 建筑防火 [第 58 页] 6.3 室内装修 [第 59 页] 7 结构 [第 60 页] 7.2 结构方案 [第 60 页] 8 气体动力 [第 61 页] 8.2 大宗气体 [第 61 页] 8.3 特种气体供应 [第 62 页] 9 供暖、通风、空气调节与净化 [第 63 页] 9.2 供暖、通风与废气处理 [第 63 页] 9.4 防烟排烟 [第 63 页] 10 给水排水 [第 64 页] 10.1 一般规定 [第 64 页] 10.2 给水排水 [第 64 页] 10.4 工艺冷却循环水 [第 65 页] 10.5 废水 [第 65 页] 10.6 消防 [第 66 页] 11 电气设计 [第 67 页] 11.1 供电系统 [第 67 页] 11.2 低压配电及电气照明 [第 67 页] 11.3 信息与自控 [第 68 页] 11.4 防雷接地 [第 70 页] 12 节能 [第 71 页]