半导体装置.微机电装置.第13部分:测量MEMS结构粘接强度的折弯和剪切试验方法

[中文适用范围]： IEC 62047 的这一部分规定了使用柱状样品的微型元件和基材之间的粘合测试方法。该国际标准适用于在宽度和厚度为1 ? 的基材@上制备的微结构@的粘合强度测量。分别为1毫米@。 MEMS 器件的微型元件由基板上层压的精细图案薄膜组成，这些薄膜通过沉积@电镀@和/或光刻涂层来制造。 MEMS 器件包括不同材料之间的大量界面，在制造或操作过程中偶尔会发生分层。接合处的材料组合决定了粘合强度；此外@界面附近的缺陷和残余应力@随加工条件的变化而变化@强烈影响粘合强度。该标准规定了微型元件的粘合测试方法，以便优化MEMS器件的材料选择和加工条件。由于MEMS器件部件的材料和尺寸范围广泛，并且微米尺寸材料的测试机尚未普及，因此该标准没有特别限制测试件的材料、测试件的尺寸和测量装置的性能。 [外文原描述]： IEC 62047-13:2012 specifies the adhesive testing method between micro-sized elements and a substrate using the columnar shape of the specimens. This international standard can be applied to adhesive strength measurement of microstructures, prepared on a substrate, with width and thickness of 1 μm to 1 mm, respectively. This standard specifies the adhesive testing method for micro-sized-elements in order to optimally select materials and processing conditions for MEMS devices. This standard does not particularly restrict test piece material, test piece size and performance of the measuring device, since the materials and size of MEMS device components range widely and testing machine for micro-sized materials has not been generalized.