半导体器件.微电机装置.第5部分:射频(RF)微电子机械系统(MEMS)开关

[中文适用范围]： IEC 62047的这一部分描述了术语@定义@符号@测试方法，可用于评估和确定RF MEMS开关的基本额定值和特性参数。本标准化中的陈述也适用于具有各种结构的 RF（射频）MEMS（微机电系统）开关@触点（直流触点和电容触点）@配置（串联和并联）@开关网络（SPST@ SPDT@ DPDT@ 等）@ 以及静电@ 电热@ 电磁@ 压电@ 等驱动机制。 RF MEMS 开关是具有多频段/模式操作的先进移动电话中很有前景的器件@ 智能雷达系统@ 可重构射频设备和系统@ SDR（软件定义无线电）电话@测试设备@可调谐设备和系统@卫星@等。