纳米制造.关键控制特性.第6-9部分:石墨烯基材料.薄板电阻:涡流法

[中文适用范围]： 本文件建立了通过涡流法测定石墨烯基材料薄膜面电阻这一关键控制特性的标准化方法。该方法利用线圈产生的初级交变电磁场在被测导电层中感应出涡流。涡流产生的次级场与初级场的叠加是薄膜面电阻的函数。该方法适用于对非导电衬底上的大面积石墨烯层进行无接触面电阻测量。由于避免了任何物理接触，该方法可防止对敏感石墨烯层造成任何机械损伤，因此适用于工业制造环境中的电气特性表征和质量控制。该方法使用两个探测器（一个在衬底上方，一个在衬底下方），对衬底完美平整度的微小偏差具有不敏感性。待表征的石墨烯层范围包括任何质量、尺寸和形貌的石墨烯微晶。因此，该方法的适用范围从高质量、无缺陷的石墨烯层到干燥的石墨烯油墨层。待表征的石墨烯层尺寸包括大于 25 mm × 25 mm 的单点测试和大于 50 mm × 50 mm 的成像测试。该方法可用于面电阻在 10 Ω/□至 5000 Ω/□标称范围内的石墨烯基材料层。 [外文原描述]： IEC 62607-6-9:2022(EN) establishes a standardized method to determine the key control characteristic • sheet resistance for films of graphene-based materials by • eddy current method.