纳米制造.关键控制特性.第9-1部分:可追踪的空间分辨纳米级杂散磁场测量.磁力显微镜

[中文适用范围]： 本文件建立了一种标准化的方法，利用磁力显微镜（MFM）对平面磁性样品进行空间分辨率低至 10 纳米的空间变化磁场的表征。MFM 主要检测垂直于样品表面的漏磁场分量。该分辨率通过使用磁性纳米结构参考材料对 MFM 探针进行校准来实现。本文档的目标是定义和描述：用于可溯源高分辨率磁漏磁场测量的参考材料；确定仪器校准函数（ICF）以及必要时进入去卷积过程的 MFM 关键参数的校准程序；利用 ICF 从测量的 MFM 数据计算定量漏磁场数据的去卷积过程；测量不确定度的评估，包括防止测量过程中出现的潜在伪影从而导致结果误解释。 [外文原描述]： IEC TS 62607-9-1:2021(E) establishes a standardized method to characterize spatially varying magnetic fields with a spatial resolution down to 10 nm for flat magnetic specimens by magnetic force microscopy (MFM). MFM primarily detects the stray field component perpendicular to the sample surface. The resolution is achieved by the calibration of the MFM tip using magnetically nanostructured reference materials.