洁净室及相关受控环境 通过空气化学浓度评估设备和材料的适用性

[中文适用范围]： 1 适用范围 本文件规定了适用于在洁净室及与其相关的受控环境中使用的设备和材料，评估其化学 airborne 清洁度的要求与指南。该环境需依据化学浓度确定空气清洁度，符合 ISO 14644‑8 标准。 本文件不适用于以下情形： - 健康与安全要求； - 与清洁剂及清洁技术的相容性； - 可清洁性； - 生物污染； - 设备和材料在特定工艺及产品中的具体要求； - 设备的设计细节。 注：文中“chemical airborne cleanliness”译为“化学 airborne 清洁度”为直译，为符合中文表达习惯，建议调整译为“化学气相清洁度”或“空气中化学污染物清洁度”。此处采用“化学气相清洁度”以更准确传达原意。 [外文原描述]： This document specifies requirements and guidelines for assessing the chemical airborne cleanliness of equipment and materials which are foreseen to be used in cleanrooms and associated controlled environments that are linked to the ISO standard for air cleanliness by chemical concentration (see ISO 14644-8). This document does not apply to the following: health and safety requirements; compatibility with cleaning agents and techniques; cleanability; biocontamination; specific requirements of equipment and materials for processes and products; design details of equipment.