标准摘要
[中文适用范围]： 本国际标准规定了使用适当的参考材料校准扫描电子显微镜（SEM）生成的图像放大倍率的方法。 该方法仅限于由校准参考材料中结构的可用尺寸范围确定的放大倍数。 本国际标准不适用于专用的临界尺寸测量SEM。 [外文原描述]： ISO 16700:2016 specifies a method for calibrating the magnification of images generated by a scanning electron microscope (SEM) using an appropriate reference material. This method is limited to magnifications determined by the available size range of structures in the calibrating reference material. It does not apply to the dedicated critical dimension measurement SEM.
英文名称Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Guidelines for calibrating image magnification