精细陶瓷（先进陶瓷 先进技术陶瓷） 原子力显微镜对细陶瓷膜表面粗糙度的测试方法

[中文适用范围]： 本文件规定了通过原子力显微镜评估精细陶瓷薄膜表面粗糙度测量探针尖端充分性的方法。此方法适用于算术平均粗糙度 \(R_{\mathrm{p}}\) 在约 \(1 \mathrm{~nm}\) 至 \(30 \mathrm{~nm}\) 范围内以及轮廓要素的平均宽度 \(R_{\mathrm{sm}}\) 在约 \(0,04 \mu \mathrm{m}\) 至 \(2,5 \mu \mathrm{m}\) 范围内的表面。 [外文原描述]： This document specifies a method to evaluate the adequateness of a probe tip for fine-ceramic thin-film surface roughness measurements by atomic force microscopy. This method applies to surfaces with an arithmetical mean roughness, R a , in the range of about 1 nm to 30 nm and a mean width of roughness profile elements, R sm , in the range of about 0,04 μm to 2,5 μm.