真空技术.真空计.热阴极电离真空计规范

[中文适用范围]： 本国际标准定义了与热阴极电离真空规相关的术语，并规定了热阴极电离规制造商应提供的参数，以及在操作这些规时需要考虑的测量不确定度。原因如下：a) 本国际标准更新了 ISO 3529-3:1981 中给出的一些术语和定义。b) 本国际标准规定了适合实验室在超高和极高真空下正确校准真空规的信息，因为热阴极电离规常用作参考标准。这些信息包括适用于在制造商说明书中引用的相关参数和特性，供用户在超高或极高真空下进行可追溯压力测量时使用电离规。c) 本国际标准还列出了与通过电离规测量压力相关的已知显著的测量不确定度，并给出了如何评估这些不确定度的指南。该列表对于某些当前或未来的真空规可能不全面。d) 本国际标准在将电离规用作参考标准时，补充了 ISO/TS 3567 和 ISO/TS 27893。 [外文原描述]： ISO 27894:2009 defines terms relating to hot cathode ionization vacuum gauges, and specifies which parameters are given by manufacturers of hot cathode ionization gauges and which measurement uncertainties have to be considered when operating these gauges.