石英玻璃碇 第3部分：等离子化学气相沉积法

行业标准《石英玻璃碇 第3部分：等离子化学气相沉积法》由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC 447)归口上报，主管部门为工业和信息化部。