多 多邻图 返回列表
SJ/T 10152-1991 废止

集成电路主要工艺设备术语

标准摘要

行业标准《集成电路主要工艺设备术语》，主管部门为电子工业部。

替代关系

相关标准

PDF下载提示

暂时无法下载

登录或查看会员