SJ/T 10627-1995 现行

通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法

标准摘要

行业标准《通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法》，主管部门为电子工业部。