SJ/T 11516-2015 现行

薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范

标准摘要

行业标准《薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。