以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

行业标准《以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。