用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量

行业标准《用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。