SJ/T 12023-2025 现行

半导体设备集成电路制造用化学气相淀积设备(CVD)测试方法

标准摘要

行业标准《半导体设备集成电路制造用化学气相淀积设备(CVD)测试方法》，主管部门为工业和信息化部。