MEMS VOC 气体传感器技术要求

【适用范围】 本文件规定了MEMS VOC 气体传感器的产品分类、技术要求、试验方法、运输及贮存。 本文件适用于监测VOC气体的MEMS传感器芯片本体及封装完毕的传感器器件。 【主要技术内容】 4 技术要求 环境要求 4.1.1 湿度要求 对试验样品进行湿度试验，试验过程中，试样能正常工作，且满足4.2之要求。 4.1.2 温度要求 对试验样品进行低温、常温、高温试验，试验过程中，试样能正常工作，且满足4.2之要求。 4.1.3 大气压要求 对试验样品进行不同大气压下试验，试验过程中，试样能正常工作，且满足4.2之要求。 外观要求 a) 传感器芯片外形、各部分尺寸及加工质量符合图样规定。 b) 封装器件符合图样规定，安装牢固。 c) 封装器件不得有龟裂、损伤、断裂等现象。 d) 传感器通电检查时，显示电压和电流示数应维持恒定范围内数值。 性能要求 4.3.1 稳定性 对MEMS VOC 气体传感器进行多次测量，并与标准值进行比较，同个传感器的相对标准偏差应不大 于±5%，同批不同传感器的相对标准偏差应不大于±10%。 4.3.2 响应时间（T90） MEMS VOC气体传感器的响应时间不大于30s。 4.3.3 恢复时间（T10） MEMS VOC气体传感器的恢复时间不大于60s。 4.3.4 响应误差 对于VOC气体传感器芯片，传感器的响应误差不大于浓度标准点的±10%。 4.3.5 灵敏度要求 MEMS VOC传感器在乙醇气体中的敏感体电阻与在洁净空气中电阻的比值≥10。 4.3.6 抗干扰性 对试验样品进行干扰气体试验，试验过程中，试样不受干扰气体的影响，正常工作，且满足4.2之 要求。 4.3.7 抗跌落性能 将处于包装状态下的气体传感器芯片做跌落试验，试验后，产品完好，且满足4.2之要求。 敏感体电阻 利用公式换算得出敏感体电阻值，其值在[50KΩ～300KΩ]的范围，公式见5.4。