聚变堆真空室内导电功能涂层耐烘烤性能测试方法

【适用范围】 本文件规定了聚变堆真空室内导电功能涂层耐烘烤性能测试的术语与定义、设备及要求、试样与制备、测试流程及结果评定。本文件适用于评价厚度不超过10微米的导电功能涂层在聚变堆高温烘烤除气条件下的服役稳定性，其他厚度也可参考使用。 【主要技术内容】 本文件规定了聚变堆真空室内导电功能涂层耐烘烤性能测试的术语与定义、设备及要求、试样与制备、测试流程及结果评定。本文件适用于评价厚度不超过10微米的导电功能涂层在聚变堆高温烘烤除气条件下的服役稳定性，其他厚度也可参考使用。