集成电路行业智慧零碳工厂评价指南

【主要技术内容】 本文件从高端化、智能化、绿色化三个一级指标出发，下设相应二级指标，共同构成了集成电路行业智慧零碳工厂的评价指标。以本文件为指导对集成电路行业智慧零碳工厂进行评价，有助于在行业内树立标杆，促进集成电路行业工厂进行产业升级、技术升级，推动集成电路行业绿色低碳发展，加快形成新质生产力。