标准摘要 【主要技术内容】 本文件规定了集成电路用混合气体3%氘/氮混合气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全的要求。 本文件适用于集成电路用混合气体3%氘/氮（以下简称3%氘/氮），其它组分比例的氘氮混合气可参考照执行 展开完整摘要