集成电路用混合气体 4.5%氯化氢/0.9%氢/氖

【主要技术内容】 本文件规定了集成电路用混合气体4.5%氯化氢/0.9%氢/氖的技术要求、试验方法、检验规则、标志、 标签、 包装、运输、贮存和安全的要求。 本文件适用于集成电路用混合气体4.5%氯化氢/0.9%氢/氖（以下简称4.5%氯化氢/0.9%氢/氖），其它组分比例的氯化氢/氢/氖混合气可参照执行