集成电路用混合气体 10%氨/氦

【主要技术内容】 本文件规定了集成电路用混合气体10%氨/氦的技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全的要求。 本文件适用于集成电路用混合气体10%氨/氦（以下简称10%氨/氦），其它组分比例的氨氦混合气可参照执行