集成电路用混合气体 15%氙/氢

【主要技术内容】 本文件规定了集成电路用混合气体15%氙/氢的技术要求、试验方法、检验规则、标志、 标签、包装、运输、贮存和安全的要求。 本文件适用于集成电路用混合气体15%氙/氢（以下简称15%氙/氢），其它组分比例的氙氢混合气可参照执行。