电子工业用气体 乙硼烷混合气

【主要技术内容】 本文件规定了电子工业用乙硼烷混合气（以下简称乙硼烷混合气）的技术要求、试验方法、检 验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于电子工业用乙硼烷混合气，主要用作外延工艺的掺杂源、扩散工艺的扩散源和离 子注入源。乙硼烷混合气中平衡气多为氦气、氩气、氮气、氢气，也可以是其他不与乙硼烷发生化 学反应，且不影响反应工艺的气体。