电子工业用气体 磷烷混合气

【主要技术内容】 本文件规定了电子工业用气体磷烷混合气（以下简称磷烷混合气）的技术要求、试验方法、检 验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于电子工业用磷烷混合气，主要用作外延工艺的掺杂源、扩散工艺的扩散源和离子 注入源。磷烷混合气中平衡气多为氦气、氩气、氮气、氢气，也可以是其他不与磷烷发生化学反应， 且不影响反应工艺的气体。