电子工业用气体 氟气混合气

【主要技术内容】 本文件规定了电子工业用气体氟气混合气（以下简称氟气混合气）的技术要求、试验方法、检 验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于电子工业用氟气混合气，主要用于激光气、汽车、制药工业中材料氟化处理等领 域。氟气混合气中平衡气多采用氮气、氖气或氦气，也可以是其他不与氟气发生化学反应，且不影 响反应工艺的气体。