电子工业用气体 六氟乙烷混合气

【主要技术内容】 本文件规定了电子工业用气体六氟乙烷混合气（以下简称六氟乙烷混合气）的技术要求、试验 方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于电子工业用六氟乙烷混合气，主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。 六氟乙烷混合气中平衡气多为氧气，也可以是其他不与六氟乙烷发生化学反应，且不影响反应工艺 的气体。