电子工业用气体 五氟乙烷

【主要技术内容】 本文件规定了电子工业用气体五氟乙烷（以下简称五氟乙烷）的技术要求、试验方法、检验规则、 标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于以工业五氟乙烷为原料经纯化制备的电子工业用五氟乙烷，它在电子工业等离子蚀 刻工艺中作为蚀刻气体。