电子工业用气体 一氟甲烷

【主要技术内容】 本文件规定了电子工业用气体一氟甲烷（以下简称一氟甲烷）的技术要求、试验方法、检验规 则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于以工业一氟甲烷为原料经纯化制备的电子工业用一氟甲烷，它在电子工业等离子 蚀刻工艺中作为蚀刻气体。