电子工业用气体 三氟化氮混合气

【主要技术内容】 本文件规定了电子工业用气体三氟化氮混合气（以下简称三氟化氮混合气） 的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、 储存和安全的要求。 本文件适用于半导体电子工业领域。 本文件中的三氟化氮混合气的平衡气多为氦气、氩气、氮气，也可以是其他不与三氟化氮混合气发生化学反应，且不影响反应工艺的平衡气。