白光干涉仪制造

【主要技术内容】 本文件规定了白光干涉仪制造的术语定义、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存要求。 本文件适用于基于白光干涉原理的非接触式表面形貌测量白光干涉仪的设计、制造与验收。