半导体用电子级正硅酸乙酯

【适用范围】 本文件适用于半导体用电子级正硅酸乙酯。 【主要技术内容】 本文件规定了半导体用电子级正硅酸乙酯的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和安全。​