锗烷、乙硼烷和磷烷生产尾气排放技术规范

【适用范围】 本标准适用于锗烷、乙硼烷、磷烷的合成、提纯、精馏、充装、尾气回收及废弃处置等全流程产生的尾气排放控制、运行与管理。 【主要技术内容】 主要技术内容规定了从事锗烷（GeH₄）、乙硼烷（B₂H₆）、磷烷（PH₃）生产的电子特气企业的尾气排放控制、尾气处理系统技术、运行管理、污染物监测及实施与监督要求。包括 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 尾气排放控制要求 4.1 排放对象 4.2 排放方式 4.3 排放去向 4.4 排放限值 5 尾气处理系统技术要求 5.1 基本要求 5.2 系统构成 5.3 技术路线 6 运行管理 6.1 基本要求 6.2 维护保养 6.3 人员要求 6.4 应急处理 7 污染物监测要求 7.1 基本要求 7.2 过程监控 7.3 排气筒监控 8 实施与监督 附录A（规范性） 等效排气筒排放速率计算方法 A.1 等效排气筒计算的条件 A.2 两根排气筒等效的排放速率计算 A.3 多根排气筒等效排放速率计算方法 参考文献