真空镀膜设备 电磁兼容 屏蔽与辐射安全技术规范

【适用范围】 本文件规定了真空镀膜设备电磁屏蔽与辐射安全的术语和定义、材料、技术要求和试验方法。 本文件适用于电气工作频率为40 MHz以下的工业用真空镀膜设备（以下简称“设备”）及设备的现场测量。 【主要技术内容】 规定了真空镀膜设备电磁屏蔽与辐射安全的术语和定义、材料、技术要求和试验方法。适用于电气工作频率为40 MHz以下的工业用真空镀膜设备（以下简称“设备”）及设备的现场测量。