半导体设备用低温泵评价规范

【适用范围】 本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。本文件适用于半导体设备用低温泵的评价。 【主要技术内容】 规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。