光学镜片亚表面缺陷在线检测 光学相干层析法

【适用范围】 本文件描述了采用光学相干层析法检测光学镜片亚表面缺陷的检测原理、检测装置、检测记录及检测报告。 【主要技术内容】 本文件适用于用光学相干层析法进行光学镜片的亚表面缺陷检测。