主动矩阵有机发光二极体面板（AMOLED）真空镀膜用金属掩膜版

【适用范围】 本标准规定了AMOLED真空镀膜用金属掩膜版的分类、技术指标要求、试验方法以及标志、包装、运输和储存要求。本标准适用于主动矩阵发光二极体制程工艺中涉及的金属掩膜版。 【主要技术内容】 前言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 金属掩膜版分类 5 技术指标要求 6 试验方法 7 标志、包装、运输和贮存