化学机械抛光用垫

【适用范围】 本文件规定了化学机械抛光用垫的术语和定义、分类和命名、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于以溶剂型聚氨酯、N-N-二甲基甲酰胺为原料，经与非溶剂相转化方法制得硬质、软质抛光层，并以层叠结构加以复合制得的化学机械抛光用垫。 【主要技术内容】 本标准规定了化学机械抛光垫的术语和定义、分类和命名、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。 技术要求规定了正常生产、检验和使用环境条件、外观质量、产品性能。外观质量包括外来脏污。其中，厚度、幅宽的极限偏差的技术指标高于国家标准GB/T 8949—2008《聚氨酯干法人造革》，克重、密度、压缩率、压缩弹性率、硬度、开口径填补了国家标准GB/T 8949—2008《聚氨酯干法人造革》的空白。