射频电源自适应阻抗匹配器技术要求

【适用范围】 本文件适用于应用在半导体设备、空间推进器等场景的自适应射频匹配器。 【主要技术内容】 本文件规定了射频电源自适应阻抗匹配器的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等内容。